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AFMNano analytik 原子力显微镜

瑞士Heliotis 高速锁相相机 C3

稳定性分析仪 LUMiFuge

K-Cell 蒸发源

锇等离子镀膜机 （OPC）

德国 Zoz Simoloyer® 系列高能球磨机

扫描探针光刻系统（SPL）

单离子注入（SII）

ELPHY MultiBeam、Elphy Qu图形发生器

RHEED反射式高能电子衍射仪