X射线光栅是非常精密的光学器件，对制作工艺的要求很高，尤其是制作高质量的二维X射线光栅的难度更大，因此，高质量的二维X射线光栅倍受相关科研人员的期待。

■凭借的线倍频技术，可以实现精确到5nm的X射线束聚焦

■基于电子束光刻的制造工艺，实现多阶闪耀光栅的设计加工，光学效率高

■金刚石光学器件，辐射稳定性高

哈特曼光栅

Hartmann wavefront sensor plates

Description

- 2D arrays of holes for wavefront sensing

- Etched into silicon using deep reactive ion etching technology

- Possibilities for high-Z materials (Au, W)

关于订制要求，详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。