技术参数

>>设备外形尺寸:（不包括报警灯）650（W）×900（D）×1650（H）mm

>>真空仓体尺寸:（约100升） 420（W）×420（D）×570（H）mm

>>仓体结构:（不锈钢材质） 9层铝合金放电电极,阳极氧化处理

>>等离子发生器:  美国COMDEL射频电源,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配，全电路保护，可连续长时间工作。

>>控制系统:PLC触摸屏全自动控制，采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件,有手动、自动两种控制模式，12”真彩 触摸屏，西门子可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。

>>真空系统:日本爱发科旋片真空泵 601 17L/S 中国台湾新莱气动角阀、充气阀、德国英福康高精度真空计、传感器

>>充气系统: 美国AE高精度电子质量流量计（两路气体配制）、针阀 美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀 日本SMC及CKD高真空气阀组件