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　　等离子体表面处理仪是一种干式工艺，是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的，又被称之为等离子清洗机。等离子体是一种很好的导电体，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，其广泛存在于宇宙中，常被视为是去除固、液、气体外，物质存在的第四态，能够利用经过巧妙设计的磁场来捕捉、移动和加速等离子体。
 

　　等离子体表面处理仪产生的等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子距离以及分子或离子之间的自由运动距离也越来越长，受到电场作用时，他们之间发生相互碰撞，从而形成了等离子体。这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，例如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能够氧化光刻胶反应所生成的气体，从而达到清洗的效果。并且腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。
 

　　等离子体清洗技术的最大特点就是无论是什么基材类型，都能够进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，像是聚丙烯、聚酯、聚氯乙烷、环氧，甚至是聚四氟乙烯都能很好地处理，并且能够实现整体和局部以及复杂结构的清洗。
 

　　需要注意的是，等离子表面处理仪并不能处理掉任何产品表面的油质脏污，其主要作用是改变材料表面的围观结构，从而提高附着效果，这个材料本身表面就是洁净的。
 

　　等离子体表面处理仪的用途：
 

　　1.能够用于印刷包装行业的粘接表面处理，提高粘接强度、降低成本、稳定粘接质量，并且无尘、清洁环保；
 

　　2.医疗材料研究；
 

　　3.高端和精密研究的清洗、除污，以保证仪器的正常使用；
 

　　4.电化学单位，进行表面处理的相关单位；
 

　　5.高分子材料研究或开发单位；
 

　　6.生物芯片领域；
 

　　7.其他主要进行表面处理的领域。