在金属分析领域中，辉光放电分析是浓度分析和表面分析的手段。表面处理工艺过程，如表面渗碳硬化或渗碳热处理等，都可以通过分析被处理材料的表面和近表层区域实现质量控制。采用浓度分布分析功能可以精确地测量涂（镀）层厚度及化学成分。
对于传统的分析方法不能解决的材料分析问题，辉光放电光谱技术可以作为优先选用的方法。采用可选的射频光源（GDA750辉光放电光谱仪）可以分析非导体材料和涂层，如玻璃，陶瓷，釉质和油漆涂层。

GDA750可以配备60个以上的分析通道，并且能充分地满足高分辨率和高精度的分析要求。涂（镀）层的深度可测量至200µm。表面分析和获得的分辨率达1个原子层。分析软件具有强大功能并且灵活易用；化学成分可以与其他特性，如被分析区域中的密度和质量分布同时测定。
通过比较涂（镀）层工艺过程（CVD，PVD）前后的表面特性，确保生产工艺过程*化和zui大程度地避免废品浪费。GDA750也可用于块状样品的分析（如金属合金的化学成分），为复杂基体材料的分析提供具有良好线性的工作曲线。
采用可选的射频辉光放电光源，GDA750可用于分析非导电性材料，如陶瓷，玻璃和油漆涂层。