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低温等离子灭菌系统
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面议接触角测量仪,视频接触角测量仪,视频光学接触角测量仪,动态接触角测量仪
面议接触角测量仪
面议光学张力计,接触角测量仪,自由能、湿润、扩张、表面不均匀性、界面流变
面议产品介绍:P-5 X铝质腔体等离子清洗机
P-50X铝质腔体等离子清洗机具有P-5等离子体表面改性处理仪所有功能,但它具有更大的铝质腔体:203毫米宽x 203毫米深D X 102毫米高,为专门等离子处理较大工件设计。铝质腔体等离子清洗机专门用于小型生产企业、研发实验室、检测机构和科研院校。
铝质腔体等离子清洗机纵览
该铝质腔体等离子清洗机专门用于小型生产企业、研发实验室、检测机构和科研院校。铝质腔体等离子清洗机采用了防暴式203毫米宽x 203毫米深D X 102毫米高矩形铝合金真空舱,并设置直接供电的射频(RF)电极。 应用范围包括医疗设备、太阳能电池、印刷电路板、连接器、微机电系统(MEMS)、纳米技术、晶圆级封装、以及许多其他相关的半导体工艺。
铝质腔体等离子清洗机特点
正如所有铝质腔体等离子清洗机,P-X5采用电容耦合(CCP)平行电极板设计,从而zui有效的产生等离子体。
与传统玻璃/石英圆筒舱不同的是,这些竞争设备不能穿透真空舱,因此被限制只能使用感应耦合的RF线圈缠在腔室的外部。 这是设置一种低效率方式,导致输入功率损失及相当低的蚀刻/清洁去除速率。
P-5X铝质腔体等离子清洗机是由美国制造的部件组装而成,我们提供的铝质腔体等离子清洗机客户服务和支持。
铝质腔体等离子清洗机规格
标准铝质腔体等离子清洗机配置
铝合金真空舱尺寸:203毫米宽x 203毫米深D X 102毫米高
电极设置:单套 254毫米 X 127毫米 水平电极
射频电源:125瓦@ 50 kHz 射频电源
工艺气体控制:精密针形阀流量控制0-25 CC /分钟
真空监测系统:皮拉尼真空计0-1托
真空系统:5的CFM真空泵(可与氧气等活性气体适配)
工艺存储:单处理顺序
可选配铝质腔体等离子清洗机配置
射频电源:100W@13.56MHz射频电源和自动匹配网络
灯条
质量流量控制器(MFC)