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二氯硅烷分析用氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。二氯硅烷分析用氦离子色谱仪产品先后荣获上海市高新技术成果转化*项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。
| 项目名称 | 指标 | ||
| 三氯氢硅(SiHCl3 )含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| (一氯硅烷+氯化氢)含量（SiH3Cl+HCl）含量”，以氯化氢计（体积分数）/l0-6 ≤ | 50 | ||
| 氮（N2）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| （氧+氩）（O2+Ar）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 氢（H2）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 总烃（THC）含量，以甲烷（CH4）计（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 金属元素及其他元素含量 | （硼+铝）（B+Al）含量/（µg/kg） ≤ | 0.1 | |
| （磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg） ≤ | 0.3 | ||
| 镓（Ga）含量/（µg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 锑（Sb）含量/（µg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 铟（In）含量/（µg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 钙（Ca）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | ||
| 铬（Cr）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | ||
| 铁（Fe）含量/（µg/kg） ≤ | 5 | ||
| 钾（K）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | ||
| 钠（Na）含量/（µg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 镍（Ni）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | ||
| 钼（Mo）含量/（µg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 锰（Mn） 含量/（µg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 铜（Cu）含量/（µg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 镉（Cd） 含量/（µg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 钴（Co）含量/（µg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 锌（Zn）含量/（µg/kg） ≤ | 0.1 | ||
