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GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。四氯硅烷分析用氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化*项目。
| 硅(SiHCl3)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| 金属元素及其他元素含量 | （硼+铝）（B+Al）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.1 |
| （磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.3 | |
| 镓（Ga）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 锑（Sb）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 铟（In）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 钙（Ca）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铬（Cr）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铁（Fe）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钾（K）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钠（Na）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 镍（Ni）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钼（Mo）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 锰（Mn） 含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铜（Cu）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 镉（Cd） 含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钴（Co）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 锌（Zn）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钒（V）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
