Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术，这种光源从170nm通过可见光到近红外2100nm范围内亮度*、光谱平坦，寿命比传统光源高一个数量级。

无电极Z-PinchTM  EUV（极紫外）、SXR（软X射线）光源系列

Energetiq*的技术基于Z-Pinch等离子体，但是*不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到极低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

主要特点

• 输出波长13.5nm，2nm-4nmTM

• 输出功率10W@13.5±1%（可选20W型号）

• 重复频率2kHz（可选10kHz型号）

• 无电极Z-Pinch技术

• 符合CE标志和SEMI S2-0703

主要应用

• EUV度量学

• 耐EUV开发

• 缺陷检测

• EUV显微学

• 水窗显微镜（XSR版本）

选型指南