应用方向

1. 热设计用薄膜热导率评价的选择。

low-k薄膜，有机薄膜，热电材料薄膜

2. 可用于评价热电转换薄膜

测量原理

当使用频率为f的电流周期加热金属薄膜时，热流的频率将为电流频率的2倍（2f）。如果样品由金属薄膜（0）-样品薄膜（1）-基体（s）组成（如图），可由一维热导模型计算出金属薄膜上表面的温度变化T(0)。

假设热量全部传导到基体，则T(0)可由下式计算：

（λ/Wm^-1K^-1，C/JK^-1m^-3，q/Wm^-3，d/m，ω（=2πf）/s^-1）

式中实部（同相振幅）包含样品薄膜的信息。如热量全部传导到基体，则同相振幅正比于(2 ω)0.5，薄膜的热导率（λ1）可由下式给出：

（m：斜率，n：截距）

设备参数

1. 测试温度：室温

2. 样品尺寸：长10～20mm，宽10mm

厚0.3～1mm（含基体）

3. 基体材料：Si（*）

Ge，Al2O3（高热导率）

4. 样品制备：样品薄膜上需沉积金属薄膜（100nm）

（*：金）

5. 薄膜热导率测量范围：0.1～10W/mK

6. 测试氛围：大气

设备概念图

样品准备