X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA HAS特点
•高功率的单色化Al Kα X射线源，确保zui高的分析灵敏度。
•平均半径165mm的能量分析器，确保高能量分辨XPS分析。
•的浸入式磁透镜技术，大幅度提高分析灵敏度。
•的XPS Mapping技术，zui小束斑15μm，可进行微区元素和化学态空间分布分析。
•的同轴超低能无阴影单电子源荷电中和器，*解决绝缘体XPS分析。
•全自动5轴常中心样品台，实现全自动角分辨XPS分析。
•*能量分辨率优于 0.45eV（Ag 3d5/2）。
•常规分析能量分辨和灵敏度高达0.55eV@1.1Mcps（Ag 3d5/2）。
•绝缘体分析的分析能量分辨和灵敏度高达0.68eV@16kcps（PET的C 1s）。
•选配单色化Al/Ag双阳极X射线源，实现高能XPS分析。
•结合了数据采集和数据处理的Vision软件，可运行于Windows XP/Vista/7等多种平台下，实现各真空室真空度实时显示，操控真空阀门开关，实验条件设定和全自动无人值守分析等强大功能。