气体等离子体：我们的铝质腔体等离子系统，当气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，就形成了等离子或离子。电离气体原子的动能相对较小，除非他们通过电场加速。加速时，他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体系统效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。

等离子体处理可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。

气体等离子体类型：各向异性等离子体是有方向性的，由电气控制一些具体的高能离子，或某个范围的能量（见美国铝框系统）。

各向同性等离子体是多方位和包含整个的3 D等离子的设备（见美国石英筒式设备系统）。

气体等离子体处理了超过湿化学处理几个优点。液体表面张力的现象消除，正如泡沫的形成，这可能会导致不*湿化。等离子蚀刻可以迅速结束，终止进程，而液体蚀刻工艺很难准确的结束。

“绿色”的优势：无氟氯化碳和污水，操作和环境安全。排除有毒和腐蚀性的液体。等离子处理的主要缺点是较低的吞吐量。

美国MYCRO致力于气体等离子处理，即让气体在常温下，无热相变下改变。这些气体可以是惰性的，也可以是起反应的。在反应性气体的情况下，利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。

铝质腔体等离子系统Aluminum Chamber Plasma Systems

SCE 14铝质腔体等离子系统

长宽高356毫米的立方体腔体

外形尺寸559毫米 x 686毫米 x 915毫米 (w,d,h)

SCE 18铝质腔体等离子系统

长宽高457毫米的立方体腔体

外形尺寸 711毫米x 711毫米x 1651毫米(w,d,h)

SCE 24铝质腔体等离子系统

长宽高610毫米的立方体腔体

外形尺寸 864毫米 x 813毫米 x 1829毫米 (w,d,h) 

SCE30铝质腔体等离子系统

长宽高762毫米的立方体腔体

外形尺寸915毫米x 915毫米x 1829毫米(w,d,h)