OptoSurf在线表面测量系统可靠、准确、高重复性：对于每个测量设备在预定的公差值范围内，分辨率极限和测量重复性高是设备的*大优势之一。
传感器可检测的粗糙度值大约Ra 1nm，长度50mm工件表面，可检测直线度偏差约<0.03µm,且测量能力指数Cg>1.33

测量技术需要现代的软件配合，以便能够处理大量的测量数据。OS 500软件能够记录测量数据，以及后续的测量数据分析和表示。通过定义公差值，不合格产品可以被自动识别出来。并且可以通过使用条码扫描器识别零件，使得运行零件测量程序变得更加智能。基于数据库的软件，可通过矩阵扫描仪识别零件，全自动测量过程，qs STAT数据导出，三维图形（Aq，I，M，形状，波纹度）原始数据的表示过滤数据的表示；高、低、带ISO滤波器设置 。