英国 雷尼绍 激光干涉仪

英国 雷尼绍 激光干涉仪

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2024-11-18 17:13:11
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万荣科信(北京)测控技术有限公司

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产品简介

XL-80激光系统雷尼绍XL-80激光干涉仪为坐标测量机(CMM)和机床等运动系统提供高性能测量和校准

详细介绍

XL-80激光系统

  
雷尼绍XL-80激光干涉仪为坐标测量机 (CMM) 和机床等运动系统提供高性能测量和校准。

利用XL-80提高企业效益

XL-80系统快速、精确,而且非常轻便,因此它成为好的激光校准系统丝毫不足为奇。XL-80采用的软件解决方案,具有优异的性能,可以帮助您显著提高企业效益。
雷尼绍设计、制造和提供激光系统已有超过25年的历史。XL-80正是多年设计和制造经验的结晶,具有真正的系统性能和操作优点。

精度和动态性能

精确稳定的激光源和准确的环境补偿,保证了±0.5 ppm的线性测量精度。可以高达50 kHz频率读取数据,线性测量速度可达4 m/s,即使在速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项(不只是线性)均采用干涉法测量,使您对记录数据的精度有信心。

使用方便

XL-80设定和使用快速简便,可减少等待时间并增加测量时间,同时仍具有纯粹干涉测量系统精度高的优点。
激光干涉仪和补偿器均可通过USB与计算机连接,因此无需单独的接口,也不必担心复杂的设定。

充满信心

优质的设计、制造和技术支持是雷尼绍的标志性特征。不管是微米级测量还是纳米级测量,的设施和质量保证都极为重要。标准的三年保修期和支持网络体现了我们对您的承诺。

便携性

XL-80激光和XC-80补偿器体积小巧,这意味着一套完整的线性测量系统只需装在一个“便携箱”中,重量仅为12公斤。再加一个三脚架(装入尼龙拉链携带箱中),您就拥有了一个真正便携的机器测量方案。

 

XL-80激光干涉仪装置概述

XL-80激光头可以产生非常稳定的激光光束,采用的波长可溯源至国家和国际标准。

特性与优点

  1. 激光稳频精度通过热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内,达到3年内精度保持在±0.05 ppm(百万分之一)。
  2. 线性测量精度在整个环境范围内,即从0 ºC - 40 ºC(32 ºF - 104 ºF)和650毫巴 - 1150毫巴的范围内,精度为±0.5 ppm。可以高达50 kHZ频率读取数据,线性测量速度可达4 m/s,即使在速度下线性分辨率仍可达1 nm。
  3. 仪器内置的USB意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。
  4. 激光头前部的一排LED状态指示灯显示激光状态和信号强度,相当于将屏幕软件上的“状态显示”扩展到激光头上。
  5. 可以在标准 (40 m) 和长 (80 m) 距离模式之间切换
  6. 模拟I/O端口允许模拟信号输出和触发信号输入。
  7. 预热时间少于6分钟。
  8. 外接开关电源允许输入电压在90V - 264 V之间变化。
  9. CARTO软件可以进行线性、角度、回转轴、直线度和垂直度测量。其他测量模式则需要使用LaserXL。
根据 (IEC) EN60825-1,雷尼绍XL-80激光干涉仪属二类激光装置,因而不需要佩戴护目镜。在操作本系统之前,请务必参阅系统手册,详细了解安全信息。
 

其他相关产品动环境补偿,确保高精度的激光测量。

1.XC-80补偿器和传感器

自动环境补偿,确保高精度的激光测量。

XC-80可在整个环境范围内提供激光测量精度。


XC-80补偿器是保证XL-80激光干涉仪、XM-60和XM-600多光束激光干涉仪的线性测量精度的一个关键要素。空气温度、压力和相对湿度的改变可能会影响激光波长和测量读数。
XC-80补偿器配备有“智能型传感器”来处理原始环境参数,可非常准确地测量空气温度、空气压力和相对湿度。XC-80使用传感器读数来修正激光波长的标称值,以给出在之后的计算中使用的真值,消除了由这些变化造成的任何测量误差。
如果您注重精度,则需要进行有效的波长补偿。
有关环境补偿重要性的详细信息,请访问干涉测量法说明页面。

特性与优点

  1. 均匀补偿 — XC-80和传感器的设计确保在整个环境操作条件范围内读数均匀并非常精确。
  2. 传感器更新迅速 — 如XC-80装置上的LED状态指示灯所示,每7秒自动完成一次更新。
  3. 集成的USB — 集成的USB连接意味着无需使用单独的计算机接口和单独电源(USB同时为XC-80和传感器供电)。
  4. 轻便 — XC-80仅重490 g,连同XL-80也仅重3 kg多一点(包括连接电缆、XL电源和传感器)。
  5. 智能气温和材料温度传感器 — 内置微处理器分析并处理传感器的输出,再将温度数值传输给XC-80补偿器。这使测量更安全,也是XC-80如此轻便小巧的关键原因,同时还确保传感器可互换并且不会影响精度。
  6. 也可以将多达三个材料温度传感器连接在XC-80补偿器上,将线性测量值归一化为材料温度为20 °C的标准值。
  7. 多用途传感器电缆 — 标准5 m长的传感器电缆可以拆卸,更换方便,在较长机器上测量时,可用螺纹接头将多条电缆连接在一起来加长。
列光学镜组件,可实现对轴/机器特性的测量。
 

2.测量光学镜组

我们的测量光学镜组系列可让您沿任意轴线测量线性位移、俯仰角、扭摆角、水平方向和垂直方向直线度。
还可提供其他光学镜组以实现表面平面度和轴的垂直度的测量。
相同的光学镜组可以与XL-80或ML10系统配合使用,从而保证测量设定和程序的一致性。所有测量均采用干涉原理测量,因此都使用了可溯源至国际标准波长的激光波长,让您对测量结果放心。
如需回转轴校准,请参阅XR20-W无线型回转轴校准装置部分,如需其他光学附件协助设定和测量,请参阅光学附件部分。

特性与优点

可互换

线性、角度和直线度光学镜组的设计,使不同测量之间的切换简单易行而不必重新进行激光对准。

便利

无需拖曳或缠绕电缆即可移动光学镜组,精度和便利性俱佳。

低质量铝质外壳光学镜组

该光学镜组为铝质,因此在测量水平臂坐标测量机上的俯仰误差以及进行动态测量时,该光学镜组的低质量具有重大意义。

环境适应快速

某些竞争对手的系统使用不锈钢光学镜外壳。这些外壳比雷尼绍铝制光学镜组外壳重很多且导热率较低,因此适应车间环境的时间比较长。

2.1线性测量光学镜组


线性测量是目前在机器上执行的的测量形式。
每个线性测量光学镜组包括:
  1. 1个线性干涉镜
  2. 2个线性反射镜和夹紧螺钉
  3. 2个准直调整光靶
订货号:A-8003-0440
如执行大于40 m的线性测量,您需要长距离线性组件

2.2角度测量光学镜组(标准)


这些光学镜组可实现俯仰和扭摆角度测量。可以测量高达±10°的角度偏移,分辨率为0.01角秒。
每个角度测量组件包括:
  1. 1个角度反射镜
  2. 1个角度干涉镜
  3. 2个准直调整光靶
订货号:A-8003-0441

2.3角度测量光学镜组(已校准)


这些光学镜组完成的俯仰和扭摆角度测量的测量不确定度要低于标准光学镜组。每个反射镜均带有校准证书,并且标记有校准系数。
每个已校准的角度测量组件包括:
  1. 1个角度反射镜
  2. 1个角度干涉镜
  3. 2个准直调整光靶
  4. 校准证书
订货号:A-8003-2532
还提供热稳定性更好的钢质外壳。

2.4线性和角度复合光学镜组


该复合光学镜组件对于想要执行线性和角度测量的用户来说是节约成本的选择。
每个复合组件包括:
  1. 1个线性反射镜和夹紧螺钉
  2. 1个角度反射镜
  3. 1个角度干涉镜
  4. 3个准直调整光靶
订货号:A-8003-2774

2.5直线度测量光学镜组:0.1 - 4 m轴长


这些光学镜组可在长度达4 m的线性轴实现水平直线度误差的测量。还可实现轴平行度测量。
每个短距离直线度组件包括:
  1. 1个直线度干涉镜
  2. 1个直线度反射镜
订货号:A-8003-0443
根据应用的不同,可能需要通用(直线度)光闸或直线度附件组件(请参阅测量附件部分)

2.6直线度测量光学镜组:1 - 30 m轴长


使用XL-80激光系统时,这些光学镜组可用于量测长度从1 m到30 m的线性轴的水平直线度误差。还可实现轴平行度测量。
每个长距离直线度组件包括:
  1. 1个直线度干涉镜
  2. 1个直线度反射镜
  3. 2个准直调整光靶
订货号:A-8003-0444
根据应用的不同,可能需要通用(直线度)光闸或直线度附件组件(请参阅测量附件部分)

2.7垂直度测量光学镜组


这些光学镜组比较通过光学角尺直线轴的一轴的直线度斜率值与另一轴直线度斜率值相对之差,从而确定两条标称垂直坐标轴的垂直度。
注:
执行垂直度测量还需要直线度测量光学镜组和直线度附件。
每个垂直度测量光学镜组包括:
  1. 1个光学角尺和夹紧螺钉
  2. 1个支架(用于安装可调转向镜)
订货号:A-8003-0665

2.8平面度测量组件


平面度镜组不仅可以水平旋转,还可以倾斜以实现激光光束的水平和垂直调整。
注:
还需要角度光学镜组才能执行平面度测量。
每个平面度测量组件包括:
  1. 2个平面度镜
  2. 1个50 mm平面度基板
  3. 1个100 mm平面度基板
  4. 1个150 mm平面度基板
订货号:A-8003-0442

3.测量附件
附件用于辅助雷尼绍激光测量系统的设定、准直调整及操作。

3.1长距离线性光学镜组件


这些光学镜组可允许在40 m以上的轴上进行线性测量操作。
组件包括一个大角锥反射镜和光靶(方便在长距离调整准直)以及一个长距 (80 m) 线性光路分开镜。该组件“捕捉”返回光束并使其重新射向激光光闸。
订货号:A-8003-4270

3.2小型线性光学镜组件


小型线性光学镜组件允许雷尼绍激光系统应用在需要小巧轻便的反射镜的场合,从而降低对机床动态性能的影响,并提供灵活的安装方式。
该组件包括一个小巧轻便的反射镜(标准装置的10%)和一个独立的缩束光学镜。该光学镜可降低射出光束与返回光束的直径和它们之间的间隔。距离为4 m。
订货号:A-8003-3244

3.3旋转镜


允许沿机床对角线或在倾斜轴上进行光路调整。旋转镜可作为ANSI B5.54对角线测量的准直辅助面;此外,在测量斜床身车床时也非常有用。
订货号:A-8003-1304

3.4光学镜组安装组件


光学镜组安装组件可与所有雷尼绍测量光学镜组配用。该组件用于将测量光学镜组安装到待测的机床上。根据需要还可以提供其他配置。
订货号:A-8003-0447

3.5通用直线度光闸


特殊光闸组件,可将光闸上的回光孔旋转90°。与直线度光学镜组配合使用时,可允许在垂直轴上测量直线度。
订货号:A-8003-4209

3.6大角锥反射镜

  
用于测量机器垂直轴的直线度和垂直度的一种角锥反射镜。
订货号:A-8003-0604

3.7直线度基板


一种设计用于安装直线度反射镜和可调式转向镜(或带有固定转向镜的激光准直辅助镜)的基板,用于测量某些垂直轴。该基板也可用于安装线性或角度光学镜组。
订货号:A-8003-0576

3.8固定转向镜 (90°)


主要用于测量待测轴空间受限的场合。转向镜可使激光光束转向。
订货号:A-8003-1325

3.9 LS350激光准直辅助镜


方便在水平和垂直平面上对激光光束进行角度调整。该附件(已经申请)避免了对激光装置进行微小平移和旋转的需要。现在,只需一步即可完成激光系统准直调整。LS350激光准直辅助镜提高了在进行线性、角度和直线度测量时在各种安装方式下准直光路的速度。
订货号:A-8003-3072

3.10 可调式转向镜


可以替代激光准直辅助镜和固定转向镜,与大角锥反射镜配用来测量机器垂直轴的直线度和垂直度。
订货号:A-8003-0560

3.11 准直光靶


该直径为22 mm的准直辅助面可与线性、角度和直线度光学镜组件配合使用。可将其装夹在光学镜上,用以调整干涉镜和反射镜的准直。
订货号:A-8003-0478

3.12 四分之一波片


四分之一波片可将激光从线性转换成圆偏振光。它可使用平面镜替代角锥反射光学镜以进行线性测量。
该应用需要一个高反射表面。可根据需要提供镜子般光滑的表面。
订货号:A-8003-1998

3.13 磁力座


用于安装光学镜或XL激光头(当与XL磁力表座适配器配合使用时)。该磁力表座具有一个控制磁性的开关,可实现快速安装,同时还有M8螺纹固定孔。提供的组件中包含两个磁力表座。
订货号:A-9908-0780

3.14 XL磁力表座适配器


允许将三脚架云台安装到磁力表座上,或任何其他具有M8螺纹的固定装置上。
订货号:A-9908-0760

3.15 倾斜适配器组件

  1.  
  1.  
倾斜适配器组件可在0° - 90°之间灵活倾斜激光校准设备,并可实现自由水平旋转。
倾斜适配器可用于:
  1.  
将XL-80激光干涉仪安装在三脚架云台或磁力表座上,可用于斜床身车床等应用。
  1.  
  2.  
以一定角度安装角锥反射镜,方便进行线性对角线测量。
  1.  
订货号:A-9908-1170

3.16 线性对角线测量组件

线性对角线测量组件为使用XL-80激光干涉仪系统执行激光对角线测试提供了方便的方法。该组件的装配过程方便快捷,附带的专用夹具以磁吸方式安装在机床工作台上,用以固定XL-80系统和光学附件。激光准直辅助镜和旋转镜可以灵活地使激光光束与机床对角线准直。
XCal-View可按照ISO 230-6和B5.54标准为激光对角线测试提供便捷的数据分析。该应用程序可采集激光对角线测试的数据,然后提供相关报告,说明关键误差并以图形方式显示结果。
订货号:S-8LMS-2124
  1.  
  1.  
统外围设备
灵活的激光器安装方式、坚固耐用的便携箱和附加接线选项

4.系统外围设备

三脚架和云台可为XL-80激光系统提供灵活的安装方式。便携箱可使设备的存储和运输更加安全、方便。

4.1 三脚架和云台

除非您使用的是专用测量台,否则很可能需要一个安装云台(多数情况下还需要三脚架)来调整激光头相对于所需测量轴的位置。
XL安装云台在设计上考虑到了XL-80的精确角度旋转及平移,可以一直固定在激光头上,易于存放和快速架设。
“快速安装/释放”机构可确保云台快速安全地固定到三脚架上。对于那些不方便安装三脚架的应用场合,例如直接固定在机床工作台上,则云台和激光头也可用M8螺纹的转接头固定在标准磁力表座上。
新型通用三脚架已经过广泛的测试,具有稳定的可调基座,而且结构小巧、轻便。
与三脚架云台和激光装置支脚调整协同工作,可控制XL-80激光光束的准直。

通用三脚架本体


可在0.54 m - 1.56 m范围内的任意位置定位激光光束。折叠后,长仅64 cm,重量不到4 kg。
需要单独的XL-80三脚架云台组件(包括云台和三脚架转接头)。
订货号:A-9908-0295

布质三脚架便携箱


大小合适的编织尼龙便携箱,带有塑料铠装内嵌件。随配零件包括手柄、背肩带和可安装在XL系统便携箱以方便运输的链接带。
订货号:M-9908-0527

XL激光系统安装云台组件


可将激光装置平移72 mm或进行扭摆调整;可使用三个翼形螺钉安装到激光装置上,以方便存放;是一种失效保护、快速释放机构,可安装到三脚架或磁力表座上。
订货号:A-9908-0700

4.2 便携箱

雷尼绍的激光系统在设计时,考虑了其便携性。我们提供一系列便携箱,以适合用户系统的尺寸。
在存储和运输过程中,便携箱可为您的贵重系统提供保护。
系统便携箱为规格,由注塑塑料制成,具有内置滚轮和手柄。

XL全套系统便携箱


XL全套系统便携箱:可存放及运输整台XL激光系统,包括所有测量和附件光学镜组。
便携箱由注塑材料制成,防尘防水,具有内置手推手柄和内置滚轮,方便运输。大型便携箱带有可拆卸托盘,提供了额外的存储空间。
560 mm x 455 mm x 265 mm。装满后约16-25 kg。
订货号:M-9908-0314

XL基本系统便携箱


XL基本系统便携箱:可存放及运输XL激光系统、线性和角度测量和光学附件。
560 mm x 351 mm x 229 mm。装满后约12-17 kg。
订货号:M-9908-0313

4.3 电缆和电源

XL-80激光头和XC-80补偿器均使用USB直接与计算机连接。此外,还供有一系列备用电缆和延长电缆。
订货号 产品
A-9908-0299 通用电源组件
A-9908-0286 USB电缆组件 (5 m)
A-9908-0932 XC传感器电缆 (5 m)
A-9908-0329 辅助I/O插头组件
 

5.CARTO

是适用于雷尼绍XL-80、XM-60、XM-600及XR20-W校准产品的软件解决方案。

为何选择CARTO?
该软件提供数据采集、分析和补偿应用,可简化监控和改进机器定位性能的过程。
兼容所有激光校准产品和附件,因此测试方法和结果可一起存储在其数据库中。可在软件中配置并存储报告和误差补偿项,从而简化校准过程。


支持的校准产品

详细了解我们的校准产品系列,这些产品有助于提高机器性能、增加机器正常运行时间,以及合理制定预防性维护计划。
XL-80激光干涉仪
XR20-W无线型回转轴校准装置
对回转轴位置精度进行简便且灵活的测量。

6.XR20-W无线型回转轴校准装置

使用XR20-W进行快速校准可提供高达±1角秒的精度

XR20-W无线型回转轴校准装置可与XL-80和XM-60激光系统配合使用。XR20-W包含一个安装在精密伺服控制轴上的集成式角度反射镜。轴的角度位置以及光学镜组相对于主体外壳的位置由高精度光栅系统(直接安装在主轴承上)进行控制。
  1.  
  1.  
“利用XR20-W的特点(轻便小巧、无线操作和易用软件所带来的简便、灵活的设定),我们的测试设定时间缩短了40%,测试运行时间缩短了20%。
另外一个好处在于无线技术使得测试过程更为安全,对精度监控不成问题。因此,我们不会中断车间生产活动,这对我们的操作和质量流程很有吸引力。
中国台湾Hurco公司

特性与优点

  1. 轻便灵活 — 单手即可轻松将其安装到各种转台,车床及其他回转轴上
  2. 高精度 — 使用XL-80为±1角秒或使用XM-60为±1.2角秒。(更多信息,请参见下面的误差指标和不确定度计算)。
  3. 快速测试 — 快速的测试设定和数据采集
  4. 无线操作 — 由可充电电池供电,并使用Bluetooth®通信集成无线连接
  5. 内置准直光靶 — 减少设定过程中的测量误差
  6. 自动校准 — 测试前的校准循环可对角度准直误差进行补偿
  7. 测试前的循环 — 自动判断方向和检测进给率
  8. 进给率 — 高达10 rpm

简单易用的安装选项

将XR20-W安装到回转轴的方便之处在于提供的一系列适合不同应用的模块化安装附件。
标准安装
轴的定心非常简单,使用固定环圆周上的刻度线和定心辅助工具即可完成。
灵活安装
除标准安装方式之外,还可以借助固定环连接盘,将XR20-W安装在带不规则中心凹槽的转台上。它还可用于将XR20-W安装到卡盘(车床)连接器和定制固定座上。

软件

CARTO软件包支持使用XL-80激光系统或XM-60多光束激光干涉仪进行回转轴测量,包含以下三个应用程序:
  1. Capture(数据采集) — 采集数据并生成零件程序。
  2. Explore(数据浏览) — 可按照国际标准提供强大的分析功能并创建报告。
  3. Compensate(补偿软件) — 生成补偿文件,以提高定位精度。
摆动轴转台测量软件* — XR20-W无法安装在提供五轴机床校准的解决方案,XR20-W无法安装在机器旋转轴上。该软件输出零件程序,用于使回转轴和线性轴同步运动,以在整个测试过程中保持光束不中断。
*仅与RotaryXL和LaserXL软件兼容

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