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| 名称 | 内容 | |
| 测量范围 | Z轴（垂直） | 160μm |
| X轴（水平） | 17.5mm | |
| 分辨率 | Z轴 | 0．01μm/±20μm |
| 0．02μm/±40μm | ||
| 0．04μm/±80μm | ||
| 测量项目 | 参数 | Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt==Rmax |
| Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) | ||
| Rs Rsk Rku Rsm Rmr | ||
| 标准 | ISO,ANSI,DIN,JIS | |
| 图形 | 支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓 | |
| 滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | |
| 取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm | |
| 评定长度（ln） | Ln= lr×n n=1~5 | |
| 传感器 | 测量原理 | 位移式差动电感 |
| 触针 | 天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径 | |
| 测力 | <4mN | |
| 导头 | 硬质合金，滑行方向半径40mm | |
| 滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | |
| lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | ||
| lr=2. 5, Vt=1mm/s | ||
| 返回 Vt=1mm/s | ||
| 示值误差 | 不大于±10% | |
| 示值变动性 | 不大于6% | |
| 电源 | 内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电 | |
| 外形尺寸 | 158×63.5x46mm | |
| 重量 | 约300g | |
| 工作环境 | 温度：- 20℃ ~ 40℃ | |
| 湿度：< 90% RH | ||
| 储存运输环境 | 温度：- 40℃ ~ 60℃ | |
| 湿度：< 90% RH | ||
