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百级洁净烤箱

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丹泊仪器（昆山）有限公司

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产品简介

本公司百级无尘烤箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

· 在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到 Class 100；

· 全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

· 采平面水平由后向前送风后经 H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率 99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)；

· 强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能 P.I.D 温控系统，得到温度控制精度

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