IRA 3 GMU/GMH是TESCAN推出的场发射扫描电子显微镜系列中样品室zui大的一款,以高品质,*计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的*设计。  

技术参数：

1. 分辨率:高真空(二次电子)1.0nm at 30kV
                (背散射电子): 2.0 nm at 30 kV 
          低真空(低真空二次电子)﹕1.5 nm at 30 kV
2.放大倍数:1 to 1000000x 
3.真空系统:电子枪真空<3*10 -7Pa                     
           样品室/低真空7-500Pa
4.加速电压0.2kV to 30Kv 
5.电子束电流2pA—200nA

6.内部直径: 340mm 
接口数: 20+ 
7.样品台行程:（5轴马达控制） 
X=130mm——马达控制 
Y=130mm——马达控制 
Z=100mm——马达控制 
R=360°连续--马达控制 
T=-80°至+90°--马达控制
zui大样品高度145mm.

主要特点：

国内使用中文操作界面的电镜厂商 
1.电磁式电子枪自动对中; 
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,channeling模式，可以非常方便寻找样品位置;
3.*的低真空二次电子探测器(LVSTD). 
4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 
5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却。 
6.采用内置的主动式电磁减震系统，大大减少了对环境的要求。
7.*的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 
8.20个以上外扩展接口，可安装更多的附件 
9.可进行远程控制