椭偏仪SpecEL

SpecEL-2000-VIS 椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEL 通过PC 控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。

集成的精确测量系统

SpecEL- 由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70° 的偏光器构成， 配有一个32 位操作系统的PC。该椭偏仪可测量0.1nm-5um 厚的单膜， 并且折射率测量可达0.005%。

SpecE1 软件及Recipe 配置文件

通过SpecEL 软件，您可以配置及存贮实验设计方法用于1 步分析。创建recipe 后，可以选择recipe 来执行实验。SpecEL 软件截图显示的Psi 及Delta 值可以用来计算厚度，折射率及吸光率。

特点

-- 膜厚测量精度高达0.1 nm，分辨率可达1nm
-- 可以测量zui多25 层膜
-- 单层膜可以测量zui大厚度10um
-- 光谱范围 300-1000nm
-- 标准测量点尺寸0.4mmx1.2mm
-- 适合测量平面，半透明的样品，例如晶圆，玻璃，胶片和金属薄片
-- 提供3D 绘图附件，参考晶圆等选项—可以定制方案
-- 配套软件提供了建模功能和测量模型，可以减少繁琐的重复测量。还可以提供用于膜厚绘图的测量软件。
厚度范围：1nm-10μm
分辨率：0.1nm
测量速度：7-13秒
样品厚度：5mm（zui大）
光学分辨率：1.0nm
射束直径：400-1200μm
角度：70°