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| 仪器型号 | VMF-2010 | VMF-3020 | VMF-4030 | VMF-5040 |
| 测量行程（mm） | 200x100x200 | 300x200x200 | 400x300x200 | 500x400x200 |
| 外形尺寸（mm） | 500x550x950 | 700x650x950 | 980x750x950 | 1050x800x950 |
| 仪器重量（kg） | 240 | 280 | 400 | 500 |
| 玻璃承重（kg） | 25 | |||
| 测量精度 | X,Y：（3+L/200）μm | |||
| 重复精度 | 3μm | |||
| 光栅尺分辨率 | 0.001mm | |||
| CCD | 1/3′高分辨率彩色摄像机 | |||
| 镜头 | 0.7～4.5X高清晰手动变倍镜头 | |||
| 放大倍率 | 34～220X | |||
| 工作距离 | 92mm | |||
| 测量软件 | INS-M | |||
| 上光源 | 3环8区表面环形LED冷光源，亮度可调 | |||
| 下光源 | 平行光路设计，无极连续可调LED冷光源 | |||
| 导轨 | 高精密V型交叉导轨 | |||
| 操作方式 | 手动操作 | |||
| 电源 | 220V（AC） 50Hz | |||
