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在实验室里以高度自动化实现了同类的测量性能*
CM300xi探针台可以应对极其复杂环境带来的测量挑战,例如随着时间的推移和在多个温度下对小Pad进行无人值守测试。在EMI屏蔽,不透光和无湿气的测试环境中,可实现的测量性能,适用于各种应用。热管理增强功能和实验室自动化功能可提高产量并缩短数据处理时间。
CM300xi支持Contact Intelligence™ – 一种的技术,可实现自动半导体测试。创新系统设计与的图像处理功能的强大组合提供了独立于操作员的解决方案,可在任何时间和温度下实现高度可靠的数据测量。
通过材料处理单元,CM300xi探针台结合了全自动晶圆测试,具有的精度和灵活性。该系统可以处理SEMI标准晶圆盒中提供的多达50片200mm或300mm晶圆。