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200mm探针台,以高达5X的效率收集高精度测量数据
新型Cascade Summit200的200mm探针台对于尽可能快地收集单个或大量晶圆高精度测量数据至关重要。
Summit200为研发、器件表征、建模或小批量生产而设计,确保低噪声、DC、RF、mmW和THz的精确测量,确保以的速度获取精确数据,可提供半自动或全自动方案。
新一代探针台采用PureLineTM技术,实现目前市场上的噪声测量方案。AttoGuard®和MicroChamber®技术显著提升低漏电和小电容的测试精度。新型快速200mm上料平台一次性可放50片晶圆的高吞吐量,-60℃到300℃的宽温度范围为科学家、研发人员、测试工程师和生产操作人员快速完成任务所需的一切。
SUMMIT200探针台支持Contact Intelligence™–一种实现自主半导体测试的技术。创新的系统设计和的图像处理功能的强大组合提供了独立于操作员的解决方案,可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。
凭借广泛的应用领域和满足任何未来需要的升级途径,SUMMIT200 提供了的 200 mm 探针台平台,以实现现有及未来器件和 IC 的快速、高准确度和大容量测量。