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| 型号 | HG30TA50 | HG30TA100 | HG30TA150 | HG30TA200 | HG30TA250 | HG30TA300 | HG30TA400 | ||
| 行程（mm） | 50 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 400 | ||
| 台面尺寸(mm) | 120×120 | 120×120 | 120×120 | 150×120 | 150×120 | 150×120 | 165×160 | ||
| 导轨 | 线性滑块 | ||||||||
| 螺杆导程(mm) | 4 | 5 | |||||||
| 分辨率（mm） | 0.00032 | 0.00039 | |||||||
| 速度（mm/s） | 20 | 40 | 50 | ||||||
| 重复定位精度(mm) | ＜0.005 | ||||||||
| 轴向间隙(mm) | ＜0.02 | ||||||||
| 步进电机（1.8°） | 42步进 | 56步进 | |||||||
| 静转矩（Ncm） | 40 | 50 | 80 | ||||||
| 中心负载（kg） | 20 | 30 | 50 | ||||||
| 自重（kg） | 3.4 | 3.8 | 4.1 | 5.5 | 5.8 | 6.3 | 11.5 | ||
| 备注 | 可选配防护罩，应用真空环境中，需单独订货 | ||||||||
