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| 型号 | HG20TA10 | HG20TA30 | HG20TA50 | HG20TA100 |
| 行程（mm） | 10 | 30 | 50 | 100 |
| 台面尺寸（mm） | 65×65 | 90×90 | 90×110 | 115×180 |
| 导轨 | V形导轨＋交叉滚柱 | |||
| 丝杆导程(mm） | 1 | |||
| 分辨率（mm） | 0.000078 | |||
| 速度(mm/s) | 10 | |||
| 重复定位精度(mm） | ＜0.003 | |||
| 轴向间隙(mm） | ＜0.005 | |||
| 步进电机（1.8°） | 42步进电机 | |||
| 静转矩(Ncm) | 40 | |||
| 中心负载（kg） | 10 | 12 | ||
| 自重（kg） | 0.8 | 1.3 | 1.5 | 2.8 |
| 备注 | 应用真空环境中，需单独订货 | |||
