|  AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。稳定且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和稳定运行。 | 自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 | | | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F | | 晶圆尺寸 | 300毫米（半米1.15 t=775微米）可选：200毫米 | | 卡盒 | ●FOUP（前开统一吊舱）前开门标准夹
●SEMI：E47.1-0200规格产品
●FIMS-FOSB， FOSB | ●FOSB（前开式装箱）前开门搬运盒
●SEMI：M31-0999规格产品 | | 卡盒数 | 单盒（装载、卸载兼用） | | 卡盒设置高度 | 900 mm | | 装载端口 | 有 | 无 | | 搬运顺序 | 表面宏、内面宏、显微镜检查 | | 检查模式 | 全部检查、抽样检查 | | 晶圆校准 | 非接触式中间环 | | 晶圆搬运方式 | 真空吸附机械搬运 | | 适用显微镜 | 半导体检查显微镜MX61L | | 应用环境 | AC100~120 V，220~240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67~-80 Kpa | | 载物台 | XY手动吸附载物台，有XY粗调/微调和360度旋转机构 | | 重量（不包括显微镜） | 约360 kg | 约270 kg | 主要特性： 人机工程学设计，操作方便 · 可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。 · 分别对应FOUP（Load Port）和FOSB的两种机型。 坚固、可靠和稳定传送 · 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和稳定性，能够稳定可靠的传送300 mm晶圆。 · 薄片，Warped晶圆皆能稳定搬送。 · 宏观观察位置的较优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作流畅性。 | 
