1、测量范围：0～200mm；

2、示值误差：±(1.2+2L/100)μm，其中L为水平测量长度，单位：mm；

3、分辨率：0.01μm；

4、直线度：2μm/200mm

5、测量速度：0.1～5mm/s；

6、移动速度：0～80mm/s；

Z轴
1、测量范围：0～450mm；

2、移动速度：0～30mm/s；

3、Z0轴

1、测量范围：±25mm；

2、示值误差：±(2+|2H|/40)μm，其中H为垂直测量高度，单位：mm；

3、分辨率：0.01μm；

4、测量力：10～150mN；

5、爬坡能力：上坡77o，下坡83o；

6、仪器尺寸（长×宽×高）：800×450×1000（mm）；