FlexSEM1000是日立高新公司推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度导航系统及的自动化功能，使性能更加*，使用更加简便。
特点:
1.节能环保的设计
2.高效率的自动功能
3.简捷的操作界面
4.高分辨低真空观察
技术参数 :
| 分辨率 | 4.0nm（加速电压20kV，高真空模式，二次电子像） |
| | 15.0nm（加速电压1kV，高真空模式，二次电子） |
| | 5.0nm（加速电压20kV，低真空模式，背散射电子像） |
| 放大倍率 | 底片倍率：6 – 300,000x |
| | 显示器倍率：16 – 800,000x |
| 加速电压 | 0.3-20kV |
| 低真空可变压力范围 | 6-100Pa |
| 马达台 | 标配三轴自动马达 |
| 行程 | X： 0-40mm |
| Y： 0-50mm |
| R： 360 ° |
| Z： 5-15mm |
| T： -15- 90° |
| 电子光学系统 | 电子枪：预对中钨灯丝 |
| 信号检测系统：二次电子探测器；高灵敏度背散射探测器 |
| 真空系统 | 全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵：61L/S 1台 |
| 机械泵：100L/min 1台 |
| 安全装置：带停电、漏电保护的真空保护功能 |
| 操作辅助功能 | 电子束旋转；动态聚焦；画质优化功能 |
| 数据输入；2点间测量、角度测量、文字；预设倍率； |
| 样品台位置导航功能（SEM MAP)；电子束标记 |
