专为超大纳米平板显示器测量而设计的 自动化原子力显微镜（AFM）系统

专为0LED, LCD和其他大样品分析提供

全自动的原子力显微镜解决方案

       全自动探针扫描器系统可用导电原子力显微镜的测量

       业内一个用于分析大于300毫米样品的自动化探针扫描器。
       ・Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸， ParkNX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于 第八代的所有大型平板显示器进行测量。

・Park NX-TSH专为大型和重型平板显示玻璃和二维编码器设计，还配有用于导电原子力 显微镜和电学缺陷分析的微型探针站。

・Park NX-TSH 可扫描高达 100 |jmx 100pm （x-y方向）和15 pm（z方向）。

・ParkNX-TSH有一个柔性卡盘，可容纳大于 300毫米的大型和重型样品，专为OLED、LCD 和其他大样品分析而设计.

・将样品固定在样品台上，并将安装在龙门架上的探针扫描器移至 样品表面所需的测量位置。

・Park NX-TSH探针扫描器系统克服了样品尺寸和重量的限制， 样品会被固定在样品台上。

・Park NX-TSH专为一代显示器工厂的应用需求研发设计， 样品尺寸可以测2200 mm。

・使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH使用可选探针站测量样品表面, 该探针站接触样品表面并向晶圆上的设备提供电流：

       为大型纳米级尺寸样品测量提供解决方案

随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加,Park NX-TSH通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的 结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。

能获得以下高分辨率图像和数据:

•表面粗糙度

•台阶高度

•关键尺寸

•侧壁信息

原子力显微镜可提供确的，以及非破坏性的纳米尺度样品测量方法

•ParkNX-TSH在研究OLED, LCD时候，通过使用专有的龙门桥式系统可获得可靠高分辨率的AFM图像，大大提高产率。

•用户在使用ParkNX-TSH时候，可获得用于大型重型样品如平板显示玻璃和2D编码器等的图像和计量数据。

Park NX-TSH原子力显微镜技术

行业的低噪声Z检测器

我们的原子力显微镜配备了的0.02 nm低噪声Z检测器，从而达到精准的样品形貌成像，无边缘过冲，更无需校准。 使用ParkNX-TSH在为用户节省时间的同时更能帮助用户获得测量数据。

True Non-Contact™模式

True Non-Contact™^式是Park原子力显微镜系统的扫描模式，通过在扫描过程中防止针尖和样品损坏, 从而产生高分辨率和准确的数据。

更快速的Z轴伺服使得真正的非接触式原子力显微镜有更精确的反馈

· 减少针尖磨损-长时间高分辨率扫描

· 无损式探针-样品接触一►样品受损最小化

可满足各种条件下，对各种样品都能够进行非接触式扫描

       接触模式下，针尖在扫描过程中持续接触样品；轻敲模式下，针尖周期性地接触样品，而在非接触模式下针尖不会接触样品。因此，使用非接触模式具有几个关键优势。由于针尖锐度得以保持，在整个成像过程中会以分辨率进行扫描。非接触模式下由 于针尖和样品表面可以避免直接接触，避免损坏软样品。

       此外，非接触模式可以感知探针与样品原子之间的作用力。探针接近样品时产生的横向力可以被检测。 因此，在非接触模式下使用的探针可以避免撞到样品表面突然出现的高层结构。接触和轻敲模式只能 进行探针底端力检测，很容易受到这种撞击伤害。

Park NX-TSH

创新性的原子力显微镜技术

具有闭环双伺服系统的100pmx 100pm柔性导向XY扫描器

XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它最小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用的响应来完成纳米尺度上精确样 品扫描。X丫扫描器的每个方向是都装有两个对称的低噪声位置传感器，在的扫描范围及大样品扫描时能发挥高效的正交性。

有低噪声位置传感器的15卩m高速Z扫描器

NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界的低噪声Z检测器取代了所施 加的Z电压作为形貌信号。标准Z扫描器由高强度压电堆驱动，并由挠曲结构引导，具有高共振频率，可以实现更准确的反馈。使用可选 的长距离Z扫描仪，Z扫描范围可从1 5卩m扩展到40 pmo

自动换针器(ATX)

ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。 激光光斑通过电动定位技术自动对准。

       自动测量控制，简易操作测量更精准!

NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精确的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、 增益和设定点参数进行优化设置。

Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。

创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间， 而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。

       电离系统可提供更稳定的扫描环境

我们创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。

由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以 创建一个极其稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且 将在样品处理过程中产生意外静电的风险降至。