电子显微分析是材料和生命科学微观分析中最 重要的一环，而元素分析是其中最重要的表征手段 之一，但标准的分析手段如能谱仪和波谱仪存在因 灵敏度不足、空间分辨率较差，无法进行轻元素、 微量元素的分析，无法分辨同位素等等问题，已不 能满足应用发展的需求。

       TESCAN提供的解决方案是将飞行时间二次离 子质谱与FIB-SEM系统集成。这种组合能够为用 户提供固体材料的3D化学表征和分子信息，高离 子质量分辨率和高空间分辨率成像等，并可以进行 原位FIB深度分析。

       飞行时间-二次离子质谱(TOF-SIMS)

       TOF-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)是具有分辨率的质谱仪。 工作原理是用聚焦离子束照射样品表面，从而在样 品最上层的原子层激发出二次离子(SI),再根据 不同质量的二次离子飞行到探测器的时间不同来测 定离子质量。

       与EDX相比，TOF-SIMS可以实现更好的横向 和纵向分辨率，还可以识别并定量样品表面层中存 在的元素和分子物质，以及具有类似标称质量的同 位素和其他物质等。

       具有超高灵敏度，可检测从H开始的任意元 素，检出限达ppm量级

•  优异的空间分辨率，横向分辨率＜ 40 nm, 纵向分辨率＜ 3 nm

•  正负离子均可检测，离子质量分辨率＞800

•  2D和3D的快速、高离子质量分辨率和高 空间分辨率成像，可进行原位FIB深度剖析

•  通过精密控制的坐标转移，保证不同仪器分 析位置的重合

•  TESCAN所有型号的FIB-SEM均可配置 TOF-SIMS 系统

1.轻元素及微量元素分析：Li离子电池中LI+面分布分析。

2.通过低电压和小束流FIB逐层减薄，成功区分出厚度为2.5 nm的掺有0-15% 的In元素的GaN层。

3.金属复合材料中微量元素的晶界偏析测定，检出限可达ppm级。

4.对铀矿石进行初期的同位素分析，快速得到238U和235U的分布信息。