小型等离子清洗机ZEPTO_Diener等离子设备-旭阿科技（上海）有限公司手机版

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设备：小型等离子清洗机ZEPTO

销售：

产品功能：

清洗：工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗，也可与特定气体发生化学反应从而被清洗，清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。如：去除有机污染物，去除纳米级微粒，去除氧化层。

活化：工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。
如：PDMS键合，粘接前的预处理，涂装前的预处理，印刷前的预处理。

具体应用：

• 去除油脂、油、氧化物、纤维
• 去除硅氧树脂
• 绑定、焊接、粘结前的预处理
• 金属部件涂装前的预处理
• 键合
• 石墨烯、煤样灰化

主要技术参数

1. 手动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3. 双路工作气体，浮球气体流量计
4. 反应舱为高硼硅玻璃，Ø105 mm*L300mm，容积为2.6L
5. 发生器频率40KHz功率0~100W无级可调
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour，国产飞越真空泵，配有强制进气阀
9. 配有压力传感器，显示腔体内压力大小
10. 钠钙玻璃托盘：宽85mm，长260mm，厚5mm
11. 外尺寸：W425*D450*H185mm
12. 电源电压：单相AC230V 16A

选配：

控制系统： PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE) / PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)。

气体：

气体流量控制器MFC腔体材质：石英腔体材质

腔体尺寸：

• 直径105mm长度200mm，1.7L
• 直径160mm，长度180mm，3.6L

托盘：

铝板/不锈钢板/硼硅玻璃/石英

计时器：

数字/模拟

发生器：

13.56MHz，0-200W

其他：

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