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主要技术参数 | 1. 全自动控制 2. 涂层材料:聚对二甲苯,聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯 3. 涂层厚度:0.05~20μm 4. 热解:5KW , 高温度达 700℃ 5. 进气含均匀分散系统 6. 冷却:液氮可达﹣100℃ 7. 极限压力:1×10-3mbar ,配有两个皮拉尼传感器 8. 涂层腔体尺寸,Ø200 mm*L200mm,容积约6.28L 9. 旋转架尺寸:Ø170mm*L170mm 10. 真空泵系统:双级螺旋泵 16 m3/h 莱宝 D16B 11. 连接件:25mm真空管,泵与主机连接件,6 bars 干燥无油的空气 12. 外尺寸:W700*D500*H700mm 13. 电源电压:400V/16A/50-60Hz |