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的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。
产品特点
分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
电子光学系统 | 分辨率 | 1 nm @ 15 kV 1.6 nm @ 1 kV |
放大倍率 | 1 x~1,000,000 x | |
加速电压 | 20 V~30 kV | |
电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | |
磁场屏蔽 | 被动式磁屏蔽 | |
主动式磁屏蔽(选配) | ||
成像系统 | 探测器 | 镜筒内高角度电子探测器 |
侧向二次电子探测器 | ||
扩展 | 背散射电子探测器 | |
能谱仪(EDS) | ||
背散射衍射(EBSD) | ||
电子束感生电流(EBIC) | ||
阴极荧光(CL) | ||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG |