EXACTUS 品牌
代理商厂商性质
北京市所在地
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作为拥有30多年历史的贵金属热电偶行业先驱者, BASF已将其温度测量技术专长应用于光学温度测量. EXACTUS红外测温仪取得了技术性突破，在非接触式温度测量中提供了显著的性能优势 .
EXACTUS红外测温仪适用范围广泛.与其他典型的测量技术相比，超灵敏电子技术、精密光学技术以及利用短波长测量低温的能力使得过程控制更加严格、精度更高、整体性能更好.
BASF的原创技术在控制晶圆之间温度和薄膜厚度的均匀性方面具有许多优势. 高度敏感的电子学和先进的光学技术意味着可以用更短波长的探测器来测量辐射能. 这减少了晶圆透射及发射率造成的误差.此外,高速测量和高分辨率确保了控温和噪声抑制的优异性能. 由此提供了更好的晶圆温度监控和生产工艺.
BASF公司开发的AIXTRON专用红外测温仪拥有专有技术，采用蓝宝石光管作为光学镜头，测温范围覆盖100-1800℃测温精度高达1.5℃, 测温重复性0.1℃。
AIXTRON专用红外测温仪可匹配AIXTON G3, AIXTRON G4， AIXTRON G5的MOCVD的测温系统。
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| 测量参数 | |
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| 温度范围: | 单色测温： |
| 测量精度: | 优于1.5℃ 或 0.15%测值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重复精度: | 0.1℃ |
| 温度漂移: | 最大 0.10℃/年 环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度 |
| 测量速率: | 最高1000 测值/秒, 响应时间1ms |
| 物理参数 | |
|---|---|
| 供电: | 12-28 VDC, 3W |
| 存储温度: | -20 to 70℃ |
| 环境温度: | 电子器件: 0 - 60℃ |
| 外壳材质: | 传感器和镜头外壳，304 不锈钢/铝； 气吹外壳，铝； 恶劣环境专用镜头: 304 不锈钢； |
| 重量: | 标准高温计，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纤传感器，0.198 kg (7 oz.) |
