沉积速率监测 分子束质谱仪

应用：
• MBE 监测和控制
• 分子束研究
• 多束源分析
• 高性能残余气体研究
• 脱附 / 除气研究/烘烤周期
• 容器、过程气体污染物分析
沉积速率监测 分子束质谱仪特点：
• 灵敏度高, 检测范围从100% 至5ppb,质量数范围至510 amu.
• 长期稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5%).
• 交叉离子源,束接收角同轴的横断面呈 +/- 35°
• 离子源控制，用于软离子化和表观电势质谱
• 灵敏度增强用于大质量数的传输，自动质量数范围列表
• 2mm 束接受孔， 也可为特殊使用者配置
• 一级过滤处增加射频，抗污染物能力增强。
• 内置UHV 兼容的水冷却罩
• 分子束研究中，检测极限低至30 ions / s
• 监测生长速率1Å / min，或更低
• Windows™ 界面的MASsoft软件通过RS232、RS485 或以太网控制