第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）
布鲁克 DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供的重现性，重现性低于5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的，更加巩固了其行业地位。通过整合其行业产品，DektakXT实现了zui高性能。操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。DektakXT
Specifications规格
测量技术探针轮廓技术
测量功能二维表面轮廓测量
可选三维测量/
样品视景可选放大倍率, 1 to 4mm FOV
探针传感器低惯量传感器 （LIS 3）
探针压力使用LIS 3传感器：1 至 15mg
低作用力（选配）使用N-Lite+低作用力传感器：0.03至 15mg
探针选项探针曲率半径可选范围： 50nm至25μm
高径比 （HAR）针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台手动 X-Y 平移：100mm （4 英寸）
机动X-Y 平移：150mm （6 英寸）
样品旋转台手动，360°旋转;
机动：360°旋转;
计算机系统 64-bit 多核并行处理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板显示器
软件 Vision64操作及分析软件；
应力测量软件；悬臂偏转；
缝合软件；三维扫描成像软件
减震装置减震装置可用
扫描长度范围 55mm （2英寸）
每次扫描数据点zui多可达120,000数据点
zui大样品厚度 50mm （2英寸） zui大晶圆尺寸 200mm （8英寸）
台阶高度重现性 <5Å, 1σ在1μm台阶上
垂直范围 1mm （0.039英寸）
垂直分辨率zui大1Å （ 6.55μm垂直范围下） 输入电压 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
温度范围运行范围20 到 25°C （68到77°F）
湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝
系统尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H （17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H）; 34公斤（75磅）;
附件：550mm L x 585mm W x 445mm H （21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H）; 21.7公斤（48磅）
