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蓝宝石衬底台阶仪及干涉仪
对蚀刻图形化后的蓝宝石衬底进行测量
结合常规的台阶仪和扫描探针显微镜技术
长程扫描：zui大100 mm
短程扫描：采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描
范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm，适合台 阶小或特征小的台阶
■ 不用额外付费，提供3D 测量软件
■ 测量数据兼容功能强大的SPIP 分析软件
■ 扫描头精心设计，避免因意外触碰引致的损坏
■ 实时力量监控: 0.1 - 100 mg
■ 同时可选台阶仪和光学轮廓仪的功能，节省空间
■ 探针测量采用高精度的光学传感器
