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Vertical Resolution 垂直分辨率 | 0.1nm 0.1nm |
Turret 转轮 | upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮(自动或手动) |
Scan Range 扫描范围 | Up to 150mm x 150mm zui高达150mmx150mm |
Sample thickness 试样厚度 | upto 100mm zui高达100mm |
FOV 视场 | upto 10mm zui高达10mm |
Objectives 物镜 | 10x,50x 10倍,50倍 |
Z focussing range Z轴方向聚焦范围 | 0.1 nm to 10mm 0.2 0.1nm到10mm |
Scanning area 扫描区域 | 150x150mm 150x150mm |
Tilt 倾斜角 | +/- 7 degree +/-7度 |
Rotation (theta) 平台旋转范围 | 360 Degree 360度 |
Pixel 像素 | Standard 1024 x 1024 标准1024x1024 |