实验室常用设备

Ecopia HMS-5000全自动变温霍尔效应测试仪

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Ecopia HMS-3000霍尔效应测试仪

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Ecopia HMS-3300高温霍尔效应测试仪

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RTP-1300四英寸快速退火炉（RTP）

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真空快速退火炉 （RTP）

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等离子体增强原子层沉积系统（PEALD）

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喷射化学气相沉积设备（Spray CVD）

脉冲激光沉积系统（PLD）

电子束蒸发镀膜机 （E-beam Evaporator）

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热蒸发镀膜机 （Thermal Evaporator System）

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磁控溅射镀膜机（Sputter）

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半自动/全自动真空探针台

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SPS-2200手动探针台

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等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）

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Harrick Plasma等离子清洗机

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光谱型椭偏仪Ellipsometer

光反射薄膜厚度测量仪

SKP5050扫描开尔文探针系统

非接触方块电阻测试仪

Rame Hart接触角测量仪

反应离子刻蚀机RIE

电子束刻蚀系统

快速退火炉