概述：     

芯片式TEM原位电化学系统是由苏州原位芯片科技有限责任公司原位系统事业部团队倾力打造而成。芯片式电学采用的是*的芯片接触式原位电化学解决方案。该解决方案使用的是世界*的芯片自对准技术，免去传统电化学芯片的引线键合步骤。国内*的LPCVD氮化硅薄膜技术能够*的保证TEM原有的分辨率。

      系统主体分为六部分：原位电化学测试芯片、样品杆及附件、液体加注设备、真空验证系统、电表（Keithley2400）以及控制电脑。

      电化学芯片分上下两部分。用户使用时先在手套箱中将样品安置在电极处，接着使用公司自主研发的自对准技术将上下芯片组合，然后使用环氧树脂将四周接缝封上。将测试液体通过一侧小孔注入到芯片内，液体会在毛细作用的引导下横跨整个芯片观测区。后将液体注入孔用环氧树脂封上，即可形成密闭的腔体。配合我们的芯片式电学测试系统，可以为样品施加电压或者电流。

规格参数：

• 电极数：4.

• 电极接触方式：芯片直接接触式.

• 兼容电镜：FEI, JEOL.

• 电压：±200 V.

• 电压精度：100 nV.

• 电流：1 A.

• 电流精度：1 pA.

• 倾角：±40°.

• 测试模式：恒流模式，恒压模式，单点扫描，多点扫描，脉冲模式

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