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2019四川成都材料展(MRS)

时间:2019-07-25      阅读:406

2019年中国材料大会于7有18,19,20在中国四川成都西部博览城顺利开展。

我司的匀胶机系列产品及PECVD,CVD受到了广大学校和研究机构的青睐。

匀胶机(KW—4A)适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、薄膜、光学及表面涂覆等工艺,匀胶机主要应用于溶胶-凝胶(sol-gel)实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用.

SPIN-51匀胶机是凯美特公司在KW-4A型匀胶机基础上升级的新产品,机壳采用不锈钢,防腐易清理。*的程序设计,转速带自检功能,可纠正电机因环境和温度变化而产生转速值偏离,大大提高匀胶转速的稳定性和准确性。从而保证了制备出来的膜层厚度均匀性,重复性、一致性、稳定性。

智能程控匀胶机是由美国凯美特技术公司新研发的高精密的旋转涂膜仪。凯美特新款智能程序匀胶机采用电脑控制,7英寸WINDOWS操作界面的触模屏,并且可以通过可以通过USB的接口与打印机等外部设备连接便于老师更有效的存取数据

CVD化学气相沉积炉由开启式单(双)温区管式炉、高真空分子泵系统、压强控制仪及多通道高精度数字质量流量控制系统组成。CVD化学气相沉积炉可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试验。

主要功能和特点

 

1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,MAX真空可达0.0001Pa;

2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的控制;

3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。

4、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;管路采用Swagelok卡套连接,不漏气;

5、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠。

主要用途

高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验,特别适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长、电池材料干燥烧结等场所。

主要技术参数:

SKGL-1200

控温方式

采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序。

加热元件

0Cr27Al7Mo2

工作电源

AC220V    50HZ/60HZ

额定功率

4KW

炉管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100*1000mm

工作温度

≤1150℃

MAX温度

1200℃

恒温精度

±1℃

加热区长度

440mm或220mm/220mm

升温速度

≤20℃/min

密封方式

不锈钢快速法兰挤压密封

ZK-F

真空范围

0.1-0.001Pa

极限真空

4.0*10^-4Pa

产品配置

双级旋片真空泵+分子泵

测量方式

复合真空计

真空规管

电阻规+电离规

冷却方式

风冷

工作电源

AC220V 50/60HZ

抽速

110L/S

ZDFC-Ⅲ

测量范围

5~1*10^-5 Pa

稳压(真空)范围

1~5*10^-3Pa

压力(真空)稳定精度)

±3%

控制范围

2.5*10^3~1*10^-4 Pa

控制精度

± 1%

HQZ-Ⅲ

控制方式

D07-7K质量流量计,D08流量显示仪

流量规格

0-500SCCM /0-1SLM,(可根据客户需要配置)

线性

±1%F.S

准确度

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤2sec

耐压

3MPa

气路通道

3通道(根据客户需求)

针阀

316不锈钢

管道

Φ6mm不锈钢管

接口

SwagelokΦ6mm

此次材料大会为更多的大学及研究机构与材料供应商提供了更多交流和合作的机会,在未来希望能有更多方面的突破。

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