普发 Pfeiffer 推出 OmniGrade 定制残余气体分析系统
时间：2024-01-12 阅读：296
近日上海伯东德国 Pfeiffer 推出 新产品OmniGrade 定制残余气体分析系统, 用于复杂残余气体测量, 进行纯度测试. OmniGrade 在高真空条件下使用质谱法正确测定脱气率. 避免由于分子污染导致的影响, 达到更高水平的清洁度. OmniGrade 的上市, 扩展了德国 Pfeifffer 残余气体分析的产品组合, 提供更高水平的价值创造, 从而增加客户的利益.
OmniGrade 残余气体分析应用领域
半导体生产中的 EUV 光刻
电子显微镜
超高真空 UHV 中的应用
OmniGrade 残余气体分析系统基于模块化原理, 可满足各种测试要求
上海伯东德国 Pfeiffer 根据每个测试要求提供量身定制的分析系统, 满足客户所需精度的测试结果. 残余分析系统采用全系列的德国 Pfeiffer 产品, 比如四极杆质谱仪, 真空泵, 腔室和其他组件.
四极杆质谱仪 (PrismaPro 或 HiQuad ) 的选择和腔室数量的确定对可实现的检测限有显著影响. 在标准系统中有两个腔室, 一个放置测试样品, 另一个放置光谱仪. 如果需要, 该结构可以补充第三个腔室. 即闸室. 这避免了测量腔室受到环境污染并显著减少了表面积. 通过烘烤系统, 可以对其进行调节, 从而进一步提高测量能力.
OmniGrade 残余气体分析系统配置
三腔室系统 | 二腔室系统 | |
参考图片 |
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分析目的 | 低放气率小零件的分析 | 中型零件测试 |
腔室尺寸 | DN 160/250 | 750 x 750 x 750 mm |
测量设计 | With Load Lock | Without Load Lock |
分子泵 | 全磁浮或者复合轴承 | 全磁浮或者复合轴承 |
质谱分析仪 | HiQuador 或PrismaPro | HiQuador 或PrismaPro |
密封闸阀 | 金属 | 金属或氟橡胶 |
校准 | 手动或自动 | |
洁净室兼容 | 可选 | |
温度控制系统 | 主动或被动 | |
OmniGrade 残余气体分析系统特点
使用模块化系统根据您的需求定制执行
检测限低
全自动测量过程
根据 ASML的清洁度等级 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 进行测试
上海伯东累计多年真空经验, 提供各类定制真空系统, 例如氦质谱检漏系统, 真空计校准系统, 残余气体分析系统等, 满足半导体, 工业, 科研各个领域的需求.
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上海伯东: 罗小姐