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FPD/LSI检查显微镜 ECLIPSE L300ND、L300N和L200ND、L200N
这一系列的显微镜是检查硅片、显示屏等大型样品的理想选择。
用于检查大型样品的高级显微镜
采用尼康CFI60-2光学系统设计，成像清晰；可搭配数码相机。
尼康ECLIPSE L300N(D)和L200N(D)
用于硅片（L200N系列为200mm，L300N系列为300mm）、分划板和其它大型平板类电子零部件的光学检查。
尼康CFI60-2光学系列
尼康的创新设计，支持实现清晰的、高对比度的明场、暗场、荧光、偏光（POL）、微分干涉（DIC）镜检，以及双光束干涉测量。
尼康Digital Sight数码相机
尼康全系列Digital Sight数码相机都能高效地进行拍照，并可将当前在用物镜、倍率转换设置和照明光亮度等参数一起传送到NIS-Elements显微镜图像处理软件中。
L200N与NWL200联合使用
在半导体行业中得到广泛认可和信任，目前有许多装置在使用。
产品亮点
尼康CFI60-2光学系统
尼康的创新设计光学系统成像清晰，支持多种显微镜镜检。
反射照明下可选择的镜检方式有：明场、暗场、偏光（POL）、微分干涉（DIC）、荧光和双光束干涉；
多种镜检方式
透射照明下可选择的镜检方式有：明场、暗场、偏光（POL）、微分干涉（DIC）和相差。
数字化智能通信
显微镜通过USB与尼康NIS Elements软件相连，可检查并控制物镜转换、照明亮度、光阑动作等。
人体工学设计
使用倾角可调的目镜筒，可使操作者更为舒适地观察样品，消除疲劳。
主要用于观察原材料、半导体和工业零部件。
核心功能
行业
主要用途集中在电子通讯领域的零部件检查，如硅片、液晶显示屏等。反射荧光*可用来有效地检查光刻胶残留，检查有机EL显示屏。
*仅L300N/L300ND/L200ND
| ECLIPSE L200N (反射照明专⽤) | ECLIPSE L200ND (反射 / 透射照明两⽤) | ||
| 主机 | 机⾝ | 12V50W 调光 • 内置电源 | |
| 对焦部：⾏程 29mm | |||
| 粗动： 12.7mm/ 转(带扭距调节 • 再对焦机能) | |||
| 微动： 0. 1mm/ 转 (以 μ m 为刻度) | |||
| 控制部：物镜转换、调光、孔径光阑开关、反射 / 透射切换(仅⽤于 L200ND) | |||
| 物镜转换器： 6 孔电动通⽤、带微分⼲涉滑块插孔 | |||
| 反射照明部 | 12V50W ⾼亮度卤素灯照明装置 | ||
| 孔径光阑(电动 • 可调⼼)、视场光阑(固定 • 带对焦⽬标) | |||
| 可插⼊⼩孔光阑滑块(OPTION) | |||
| 可插⼊ ø25mm 滤光⽚(NCB 、ND2 、ND4)、起偏器 / 检偏器 | |||
| 观察⽅法：明场、暗场、简易偏光、微分⼲涉、反射荧光(仅⽤于 L200ND) | |||
| 透射照明部 | 12V50W ⾼亮度卤素灯照明装置 | ||
| 内置孔径光阑 | |||
| 内置 LWD 聚光器 | |||
| 表⾯ | USB × 1 、RS232C (INTENSILIGHT ⽤)× 1 | ||
| 镜筒 | L2-TTA 超⼤视场正⽴调倾式三⽬镜筒(视⾓ 0°~30°) | ||
| 视场数 25、光分光 100： 0/0： 100 | |||
| L2-TT2A 超⼤视场正⽴调倾式三⽬镜筒(俯⾓ 0°~30°) | |||
| 视场数 25、分光⽐ 100： 0/20： 80 | |||
| LV-TI3 正⽴三⽬镜筒 | |||
| 视场数 25、光分光 100： 0/0： 100 | |||
| ⽬镜 | CFI ⽬镜 | ||
| 物镜 | CFI60 系统物镜 | ||
| 载物台 | L2-S8A 8×8 载物台、⾏程 205mm ×205mm (透射观察范围： 150mm×150mm) | ||
| 带粗 / 微动切换功能 | |||
| 微动⼿轮位置固定 | |||
| 防静电功能 | 从 1000 到 10V 放电时间在 0.2 秒以内 | ||
| 耗电 | 1.2A/90W | ||
| 尺⼨ | 约 360 (W)× 580 (H)×860 (D) mm | ||
| 重量 | 显微镜单体：约 30kg、载物台(含镜筒)：约 45kg | ||
| ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | ECLIPSE L200N | ECLIPSE L200ND | |
| (Episcopic illumination type) | (Diascopic/Episcopic illumination type) | (Episcopic illumination type) | (Diascopic/Episcopic illumination type) | |
| Main body | 12V-50W halogen lamp light source built in; Power sources for motorized control built in | |||
| Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control | ||||
| Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece with nosepiece centering function | Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece | |||
| — | Epi/Dia changeover | — | Epi/Dia changeover | |
| Focusing mechanism | Cross travel: 29 mm | |||
| Coarse: 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided) | ||||
| Fine: 0.1 mm per rotation (in 1μm increments) | ||||
| Episcopic illuminator | 12V-50W halogen lamp light source built in | |||
| Motorized aperture diaphragm (centerable), Fixed field diaphragm (with focus target) | ||||
| Pinhole slider (optional), Four ø25 mm filters (NCB11, ND16, ND4), Polarizer and Analyzer can be mounted | ||||
| Observation methods: Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence* | ||||
| * L300N/L300ND/L200ND only | ||||
| Diascopic illuminator | — | 12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in | — | 12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in |
| LWD condenser built in | LWD condenser built in | |||
| Interface | USB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1 | |||
| Eyepiece tubes | L2-TT2A Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/20:80 | |||
| L2-TTA Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100 | ||||
| LV-TI3 Trinocular eyepiece tube (erect image) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100 | ||||
| Eyepieces | CFI eyepiece lens series | |||
| Objectives | CFI LU/L Plan series | |||
| Stages | 14 x 12 stage, stroke: 354 x 302 mm | L2-S8A 8 x 8 stage, stroke: 205 x 205 mm | ||
| (Diascopic observation range: 354 x 268 mm) | (Diascopic observation range: 150 x 150 mm) | |||
| Coarse/Fine-movement changeover possible | Coarse/Fine-movement changeover possible | |||
| Fixed-position X-Y fine-movement controls | Fixed-position X-Y fine-movement controls | |||
| Antistatic mechanism | 1000-10 V, within 0.2 sec | |||
| Power consumption | 1.2 A/90 W | 1.2 A/90 W | ||
| Dimensions | Approx. 360 (W) x 951 (D) x 581 (H) mm (at tilt angle 10 °) | Approx. 360 (W) x 860 (D) x 580 (H) mm (at tilt angle 10 °) | ||
| Weight | Approx. 40 kg (Body only) | Approx. 30 kg (Body only) | ||
| Approx. 64 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used) | Approx. 45 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used) | |||
