系统简介

光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试，表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。 可以测量各种材料的面形，提供各种参数，包括表面结构，面形和台阶高度等等的2D和3D 图形。与探针式接触式轮廓仪相比，由于采用非接触式的测量系统，没有耗材，不会引起待测件的损伤。

IMOS nanoprofilometer光学表面轮廓仪设计结构紧凑，具有两种测量模式，可定量测量微米尺度和纳米尺度表面形貌轮廓。具有测量速度快，测量精度高，性价比高的特点。

系统特点

测量各种材料的面形，包括平坦度，粗糙度，面形和台阶高度等

测量精度高，Z方向精度可打30pm

测量速度快，几秒钟内可捕捉超过两百万数据点。

与同类产品相比较（包括探针式接触式轮廓仪）具有高性价比，

结构紧凑，抗振隔振。

非接触式的测量系统，没有耗材，不会引起待测件的损伤。

操作简便，易于维护

支持大面积拼接测量

系统参数

测试实例