宽视场铰链式三目观察筒正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。
大行程移动平台设计采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。高精度物镜转换器转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。