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一、国产质量流量计简介
国产质量流量控制器耐压100bar,可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。国产质量流量计流量可测到100SLPM,质量流量控制器的流量可测到100SLPM。
二、国产质量流量计工作原理
热式质量流量计/控制器的核心是在由不锈钢毛细管与电阻温度计组成的感测器。被测气体分别流经两个层流区,一路通过主流量管道,另一路通过毛细测量管。两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热,当有流量产生时,被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上,产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系,采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。
三、国产质量流量计技术规格
流量范围 :5SCCM-100SLPM
量程比 :2%~100%满量程
精度 :≤±1%满量程
线性度 :≤±0.2%满量程
重复性 :≤±0.2%满量程
响应时间 :≤2秒
操作温度 :0~50℃
操作压力 :0bar~100bar
泄漏率 :1×10-10Pa.m3/sec(He)
供电电源 :+15VDC or +24VDC/300mA
信号输入/输出 :0-5VDC or 4-20mA
密封材质 :标准 Viton
可选 Buna/Kalrez/Teflon/Epdm
阀门状态 :常闭
电气连接 :9针
接口尺寸 :1/8"、1/4"、3/8"swagelok
可选VCR连接
主体材质 :316L 不锈钢
预热时间 :30min