一、国产质量流量计简介

国产质量流量控制器耐压100bar，可测量腐蚀性气体，结构紧凑，重复性高，响应时间快，性价比高，可广泛用于设备配套。国产质量流量计流量可测到100SLPM，质量流量控制器的流量可测到100SLPM。

二、国产质量流量计工作原理

热式质量流量计/控制器的核心是在由不锈钢毛细管与电阻温度计组成的感测器。被测气体分别流经两个层流区，一路通过主流量管道，另一路通过毛细测量管。两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热，当有流量产生时，被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上，产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系，采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。

三、国产质量流量计技术规格

流量范围      ：5SCCM-100SLPM

量程比        ：2%~100%满量程

精度          ：≤±1%满量程

线性度        ：≤±0.2%满量程

重复性        ：≤±0.2%满量程

响应时间      ：≤2秒

操作温度      ：0~50℃

操作压力      ：0bar~100bar

泄漏率        ：1×10^-10Pa.m³/sec(He)

供电电源      ：+15VDC or +24VDC/300mA

信号输入/输出 ：0-5VDC or 4-20mA

密封材质      ：标准  Viton

                可选 Buna/Kalrez/Teflon/Epdm

阀门状态      ：常闭

电气连接      ：9针

接口尺寸      ：1/8"、1/4"、3/8"swagelok

                可选VCR连接

主体材质      ：316L 不锈钢

预热时间      ：30min