指标

质量流量控制器

量程

0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM

精度

±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）

重复性

±0.2%

量程比

200:1

响应时间

100ms

标准状态(STP)

25℃&14.696PSIA （101.325kPa）

温度范围

-10～50

零点漂移

0.02％

量程漂移

0.02％

湿度范围

0-100%

测量流量范围

128％（过流率）

zui大耐压

145psi

输出信号（数字）

质量流量、体积流量、压力和温度

数字信号可选

RS485，Modbus，Profibus

输出信号（模拟）

质量流量、体积流量、压力和温度

模拟信号可选

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA

电气连接

8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）

供电电压

7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）

供电电流

0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）