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开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。
材料表面的功函数通常由上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种灵敏的表面分析技术。
我们的开尔文探针系统包括：
□单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；
□扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；
□超高真空(UHV)开尔文探针；
□湿度控制的腐蚀开尔文探针；
扫描开尔文探针系统
ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：
□2毫米，50微米探针；
□功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；
□针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；
□表面势和样品形貌3维地图；
□探针扫描或样品扫描选配；
□彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；
□参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；
□备用的针尖放大器；
仪器的特色
□商用的*意义上的开尔文探针系统；
□高分辨率的功函数和表面势，好的稳定性和数据重现性；
□非零技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；
□高度调节技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受 样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；
□该领域内，拥有好的信噪比；
□快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；
□功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；
□所有开尔文探针参数的全数字控制；
ON | 非零探测 Off Null detection |
HR | 高度调节模式 Height Regulation mode |
SM | 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
UC | 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
DC | 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects |
PP | 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
SA | 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
WA | 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
DC | 所有探针及探测参数的数字控制Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
QT | 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
DE | 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
OC | 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
FC | 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
RS | 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample |
额外选配项 | |
SPV | 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
RH | 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber |
AC | 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
EDS | 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope |
OPT | 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
ST | 针尖置换 Replacement Tips |
GCT | 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips |
XYZ | 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
应用领域
吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；
