在线方块电阻测试仪

EddyCus TF inline在线方块电阻测试仪可以测量薄层的性能，如金属层厚度，薄层电阻，辐射系数，残余水分或在各种基材上的非接触克重。相关基材有玻璃、箔、纸、晶圆片、塑料或陶瓷。通过常驻测量或触发事件进行监测，以在快速移动的涂层过程中获得等距离的结果。检测解决方案可以在大气或真空条件下实施。基于电涡流技术的检测过程高采样率更高。可以使用客户的软件为过程控制系统提供测量结果。此外，SURAGUS还提供监控软件EddyCus EC Control，可视化、存储和分析计量数据。

在线方块电阻测试仪产品优势：

• 非接触式实时测量

• 高测量速度高达1000次/秒。

• 传感器固定安装或传感器横贯安装

• 每个系统集成1 - 99个监控通道

• 在大气或真空的过程控制

• 在许多应用中，非常接近衬底边缘的测量是可能的

• 在变化的环境中通过温度补偿测量的长期稳定性

• 与测试材料之间的距离较大(例如60毫米/ 2.4英寸的间隙)

• 覆盖导电层或封装衬底的表征

• 众多软件集成分析

在线方块电阻测试仪测量内容及范围：

薄层电阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq

金属厚度: 2 nm – 2 mm (根据材料电导率)

电阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm

残余水分(用非接触式介电常数测量湿层)

电各异性: 0.33 to 3 (higher on request)

关联属性

克重: 0.1 to 1,000 g/sqm

辐射系数: 0.005 to 0.2

EddyCus TF非接触式方块电阻在线监测系统可在生产过程中直接对方块电阻进行高速、非接触式测量。典型的工艺包括PVD, CVD，在晶圆，箔，纸，聚合物或其他基板上的电沉积或常规沉积工艺。特别是这些工艺包括溅射、蒸发、外延或电镀工艺。此外，这也涉及喷涂，槽模涂层或电子印刷过程。此外，片状电阻增强过程，如薄膜的退火和掺杂或印刷电子产品的烧结，受益于电气完整性的在线监测。氧化、蚀刻、抛光以及清洗和干燥过程的影响也是这种测试技术广泛应用范围的一部分。薄片电阻值通常转移到MES系统，以保证质量，特别是过程控制。

在线方块电阻测试仪规格指标：

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