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LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜有4大关键价值:
价值1:捕捉任意表面形状。
OLS5000显微镜的*技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。
价值2、快速获得可靠数据
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,zui终实现生产力的提升。
价值3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可
LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。
价值4、可测量具有挑战性的样品
低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。
[获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。
[405纳米激光光源]
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得的横向分辨率。
[激光共焦光学系统]
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像
[X-Y扫描仪]
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的X-Y扫描。
[高度测量原理]
在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。
主机规格:
型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |||
总倍率 | 54x - 17,280x | |||||||
视场直径 | 16 μm - 5,120 μm | |||||||
测量原理 | 光学系统 | 反射式共焦激光扫描激光显微镜 反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜 彩色 彩色DIC | ||||||
光接收元件 | 激光:光电倍增管(2ch) 色彩:CMOS 彩色相机 | |||||||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 纳米 | ||||||
动态范围 | 16 位 | |||||||
可重复性 n-1 *1 *2 *6 | 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm | |||||||
精度 *1 *3 *6 | 测量值 +/- 1.5% | |||||||
拼接图像精度 *1 *4 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm]) | |||||||
测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *6 | 1 纳米 | |||||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1 纳米 | ||||||
可重复性 3 n-1 *1 *6 | 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm | |||||||
精度 *1 *3 *6 | 测量值 +/- 1.5% | |||||||
拼接图像精度 *1 *3 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm]) | |||||||
单次测量时测量点的zui大数量 | 4096 x 4096 像素 | |||||||
测量点的zui大数量 | 3600 万像素 | |||||||
XY 载物台配置 | 长度测量模块 | • | 无 | 无 | • | 无 | ||
工作范围 | 100 x 100 mm 电动 | 100 x 100 mm 手动 | 300 x 300 mm 电动 | 100 x 100 mm 电动 | 100 x 100 mm 手动 | |||
zui大样品高度 | 100 mm | 30 mm | 30 mm | 210 mm | 140 mm | |||
激光光源 | 波长 | 405 nm | ||||||
zui大输出 | 0.95 mW | |||||||
激光分类 | 2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||||
彩色光源 | 白光 LED | |||||||
电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |||
质量 | 显微镜主体 | 约 31 公斤 | 约 30 公斤 | 约 50 公斤 | 约 43 公斤 | 约 39 公斤 | ||
控制器 | 约 12 公斤 |