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　　【仪器网 行业应用】光学显微镜是大家熟悉的实验室仪器之一，但事实上，在实际使用中光学显微镜存在局限，它是一种二维的形态学工具，因此如果要在高倍率下观察表面的三维形态，特别是纵向方向的形态，通常一定需要使用SEM。但有些样品使用SEM会碰到以下困难：
 

　　1、样品本身比较大，且不能做分割的器件组，虽然被观察的部分是微小的局部，但整个样品难以放入SEM中。
 

　　2、非金属样品，且不适合做导电性处理。特别是一些对微小处理很敏感的样品。
 

　　3、无法测量多种尺寸数据，比如体积，面积，粗糙度等等。
 

　　针对这些问题，SEM厂家在不断推出更新的技术。激光扫描共焦显微镜(CF-LSM)就是一种能较为有效弥补这些问题的显微技术。
 

　　激光共聚焦显微镜在材料领域应用初探
 

　　共聚焦激光扫描显微镜的发展在国外，主要为日本。是从80年代末期开始的，目前在日本，共聚焦激光扫描显微镜已经是一种被广泛采用的技术，既用来观察样品表面亚微米程度(0.12微米)的三维形态和形貌，又可以测量多种微小的尺寸，诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。
 

　　另外，它还有以下特点：
 

　　1、使用方便,与一般光学相似,且全部采用计算机直观控制。
 

　　2、基本无须制样,不损伤样品。不需要做导电处理,也容许大尺寸样品直接观察,*不破坏样品。
 

　　3、几十秒到一两分钟即完成全部的扫描，成像，测量采样工作。该设备目前已经为吉林大学，哈尔滨工业大学用于材料和机械加工方面的研究。