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　　日立扫描电镜的工作原理是由电子枪发射出来直径为50μm(微米)的电子束，在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，形成直径为5nm(纳米)的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子，获得相应材料的表面形貌和成分分析。
 

　　从材料表面散射出来的二次电子的能量一般低于50 eV，其大多数的能量约在2～3 eV。因为二次电子的能量较低，只有样品表面产生的二次电子才能跑出表面，逃逸深度只有几个纳米，这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再通过电信号放大器加以放大处理，终成像在显示系统上。日立扫描电镜工作原理的特殊之处在于把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。
 

　　日立扫描电镜*知识！
 

　　1.光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率高只有约1500倍，扫描式显微镜可放大到10000倍以上。
 

　　2.根据de Broglie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关：
 

　　λe=h/mv=h/(2qmV)1/2=12.2/(V)1/2(Å)
 

　　在10 KV的加速电压之下，电子的波长仅为0.12Å，远低于可见光的4000-7000Å，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜*许多，但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100Å之间，电子与原子核的弹性散射与非弹性散射的反应体积又会比原有的电子束直径增大，因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。
 

　　3.日立扫描电镜有一重要特色是具有超大的景深，约为光学显微镜的300倍，使得扫描式显微镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。
 

　　4.日立扫描电镜其系统设计由上而下，由电子枪射电子束，经过一组磁透镜聚焦聚焦后，用遮蔽孔径选择电子束的尺寸后，通过一组控制电子束的扫描线圈，再透过物镜聚焦，打在样品上，在样品的上侧装有讯号接收器，用以择取二次电子或背向散射电子成像。